クリーンブース
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JIS ISO0.2μm0.3μm0.5μm5μmF.S 209D 相当0.1μmStFed.d. 209D0.2μm0.3μm0.5μm5μm0.1μm粒子径分布線清浄度規格比較 クリーンルームの清浄度は「一定の体積中の基準の大きさ以上の塵埃の数量」で示されます。規格の原本は1963年のアメリカ連邦規格Federal Standard209です。現在では1993年に改定されたFed.Std209Eが最新版となっています。一般的に最も使われているものは209Dです。これは1フィート立方中(28.3ℓ)に0.5ミクロン以上の微粒子が何個あるかで表します。 209Dのクラス100とは1フィート立方中に0.5ミクロン以上の微粒子が100個以下であることです。1,000個以下であればクラス1,000。同じように10,000個以下であればクラス10,000と言い、数字が小さい程ゴミの無い空間になります。 国際標準に適合するため、ISO規格やJIS規格も制定されました。これは1m3中にある0.1μm以上の微粒子が対象になります。1アメリカ連邦規格Fed. Std. 209D (1ft3中に含まれる0.5μm以上の微粒子数 個/ft3)JIS規格JIS B 9920 ISO規格 ISO 14644-1 (1m3中に含まれる0.1μm以上の微粒子数 個/m3)100,00010,0001,0001001010.10.1110粒 径(μm)個/ft3クラス1クラス10クラス100クラス1,000クラス10,000クラス100,000清浄度とは産業分野別標準清浄度クラス1クラス2クラス3クラス4クラス5クラス6クラス7クラス8101001,00010,000100,0001,000,000-  -  (101)(102)(103)(104)(105)(106)(107)(108)2242372,37023,700237,000-  -  -  101021,02010,200102,000-  -  -  4353523,52035,200352,0003,520,000-  -  -  -  292932,93029,300クラス1クラス10クラス100クラス1,000クラス10,000クラス100,000クラス1クラス10クラス100クラス1,000クラス10,000クラス100,000353503,50035,000-  -  8757507,500- - 3303003,000- - 1101001,00010,000100,000- - - 770700クラス1クラス10クラス100クラス1,000クラス10,000クラス100,000半導体関連電子部品精密機器光学機器1̃100100̃10,000100̃10,000100̃10,000集積回路 エッチング蒸着 研磨プリント基板 ディスクコンデンサ 小型リレー時計ミニチュアベアリングレンズ カメラ印 刷医療機関食品工業農林水産1,000̃10,0001,000̃100,0001,000̃10,0001,000̃10,000精密製版 電子製版手術室 集中治療室乳製品 醸造品きのこ メリクロンクリーンブースとはクリーンブースとは 人の手が届かない自然には、塵や埃がほとんどありません。地球上で塵や埃が最も少ないのが「雲の上」と言われています。今、高品質な製品を作り出すために、様々な分野の作業環境においても、その様なクリーンな環境が求められています。 弊社では、クリーンブースの研究開発を通して、「雲の上」を超えた作業環境をお届けいたしております。規格のシステムを組込むだけではなく、用途・スペース・ご予算に合わせて、充実した周辺機器も含め、完全オーダーメイドでお客様のご要望にお応えできるプランをご提案いたします。

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